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ナノテクジャパンは、文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」の一環として、全国の産学官の利用者に対して、
最先端研究施設及び研究支援能力を分野横断的にかつ最適な組合せで提供できる共用システムを構築し、研究課題解決への貢献を目指して活動しております。

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文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ！　研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名	ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID	A-NM-031
分類	試料作製装置＞集束イオンビーム(FIB) 試料作製装置＞試料作製装置群膜加工・エッチング＞集束イオンビーム加工
設備名	FIB加工装置 (Focused Ion Beam systems)
地域	関東
設置機関	物質・材料研究機構
研究分野	微細構造解析
担当部署または担当者
仕様	日本電子社製JEM-9320FIB Gaイオンエネルギー：5～30 kV、最大電流30nA、分解能6nm

本研究設備の詳細や利用方法等は、問い合わせフォームよりお問い合わせください。