A-NU-090:集束イオンビーム加工機 | ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内 / NanotechJapan YellowPages

ナノテクジャパンは、文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」の一環として、全国の産学官の利用者に対して、
最先端研究施設及び研究支援能力を分野横断的にかつ最適な組合せで提供できる共用システムを構築し、研究課題解決への貢献を目指して活動しております。

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研究設備詳細情報

事業名	ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID	A-NU-090
分類	試料作製装置＞集束イオンビーム(FIB)
設備名	集束イオンビーム加工機 (Focused ion beam machining apparatus)
地域	中部
設置機関	名古屋大学
研究分野	微細構造解析
担当部署または担当者	超高圧電子顕微鏡施設
仕様	日立製FB-2100 加速電圧： 40kV マイクロサンプリング、CAD機能 Focused ion beam sample preparation system with both a bulk stage and a side-entry stage for TEM holder. A microsampling function is available enabling to pick up thin films directly from bulk samples and mount on a TEM sample grid without removing the sample from the vacuum. Moreover, the use of a CAD system makes it possible to fabricate samples onto the surface with graphics as desired.

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