文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ！　研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-NU-094
分類 試料作製装置 ＞ イオンミリング
設備名 アルゴンイオン研磨装置
(Ar-ion-beam specimen preparation instrument)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者 超高圧電子顕微鏡施設
仕様

Gatan製：PIPS II
アルゴンイオン研磨装置

・イオン銃：低エネルギー集束電極ペニングイオン銃 2式

・イオンエネルギー：100eV～8keV

・試料サイズ：3mm

・試料回転：1～6rpmまで可変

・XY切り替え範囲：±0.5ｍｍ

・試料観察：双眼顕微鏡、デジタルズームマイクロスコープ

・冷却ステージ：液体窒素(保持時間6～7時間)

・試料冷却：-120℃まで冷却可能

Precision ion polishing system for precise centering, control, and reproducibility of milling process.
A-NU-094

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