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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-TU-034
分類 透過電子顕微鏡 > 収差補正透過電子顕微鏡
設備名 モノクロメーター搭載超高分解能収差補正型分析電子顕微鏡
(Titan³ 60-300 Probe Corrector)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

加速電圧:300kV/60kV

球面収差補正装置(照射系、結像系)

エネルギー分解能:0.30eV/0.85eV (Mono on/off)

EDS分析 (30m㎥検出器x4=120m㎥)

A-TU-034

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