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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-UT-089
分類 走査型プローブ顕微鏡 > 原子間力顕微鏡
表面分析装置 > その他表面分析
設備名 走査型プローブ顕微鏡 L-trace II
(scanning probe microscope L-trace II)
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者 大規模集積システム設計教育研究センター(VDEC)
仕様

分解能: 面内0.5nm  垂直0.05nm

試料サイズ: 150mm  厚さ22mm

低いZ方向直進エラー

高いS/N比

熱源抑制効果による低いドリフト

大きな試料サイズの測定が可能

A-UT-089

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