文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-UT-091
分類 試料作製装置 > 試料作製装置群
設備名 ナノミル Model 1040
(NanoMill Model 1040)
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

透過型電子顕微鏡/走査透過型電子顕微鏡用試料の作製装置

FIB加工やイオン研磨によって生じた試料表面のダメージ層の除去を行い試料の最終仕上げ研磨を行う装置

アルゴンイオン加速電圧 50-2000eV

加工時観察倍率 100-2000倍

ミリングレート1nm/min

 

 

A-UT-091

この設備に関するお問い合わせ先

本研究設備の詳細や利用方法等は、問い合わせフォームよりお問い合わせください。

設置機関Webサイト 設置機関Webサイト   この設備について問い合わせる この設備について問い合わせる(設置機関への問い合わせフォーム)