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研究設備詳細情報

事業名 蓄電池基盤プラットフォーム
機器ID B-NM-033
分類 表面分析装置 > オージェ電子分光(AES)
設備名 走査型オージェ電子分光装置
(Scanning Auger Electron Spectroscopy)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 蓄電池基盤
担当部署または担当者 NIMS蓄電池基盤プラットフォーム
仕様

ULVAC-PHI社製 PHI710
試料に集束された電子線を照射し、オージェ過程を経て放出された電子の運動エネルギーを検出することで、元素組成および化学結合状態を分析することが可能。最小分解能8 nm、最大拡大倍率50万倍での低ドリフト測定が可能。試料は専用のトランスファーベッセルを利用して、大気非暴露搬送が可能。

B-NM-033

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