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研究設備詳細情報

事業名 蓄電池基盤プラットフォーム
機器ID B-NM-034
分類 試料作製装置 > 試料作製装置群
設備名 クロスセクションポリッシャ(CP)
(Cross-section polisher)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 蓄電池基盤
担当部署または担当者 NIMS蓄電池基盤プラットフォーム
仕様

JEOL社製 IB-09020CP
Ar+イオンビームと遮蔽板を用いて試料の断面を加工する断面試料作製装置。断面加工モニター用カメラを搭載し、加工状況がリアルタイムに確認可能。試料ステージ冷却可能。大気非曝露搬送対応。

B-NM-034

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