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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-137
分類 膜加工・エッチング > 集束イオンビーム加工
試料作製装置 > 集束イオンビーム(FIB)
設備名 イオンコーター(FIB付帯)
(Ion Coater (FIB))
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

日立ハイテクノロジーズ社製

集束イオンビーム加工観察において、熱伝導性のない試料の昇華や融解による形状変形 及び熱改質の防止、試料の表面へのイオン注入による汚染(orイオンビーム入射による表面改質)の防止、電気伝導性のない試料の加工や観察への帯電障害(チャージアップ)を防止するため、Ptコーティングを行う装置です。

  • 放電方式:ダイオード放電マグネトロン形(電場・磁場直交形)
  • 電極形状:対向平行円板(マグネット埋込み)
  • 電圧:最高電圧DC 0.4 kV
  • 電流:最大電流DC 40 mA
  • コーティングレート: Pt 毎分15 nm以上 (参考値)
  • 試料サイズ:最大直径:60 mm、最大高さ:20 mm

 

F-AT-137

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