文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-138
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
設備名 マニュアルウェハープローバー(2F)
(Manual Wafer Prober)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

φ200 mmチャックテーブルを持つマニュアルプローバ(MJC_708fT-011)とKEITHLEY-4200SCS+HP4284Aを組み合わせたマニュアルプローバシステムです。2F一般実験室に設置され,主に多数のデバイス連続測定や長時間を要する測定,微小電流測定を対象にしています。
 主な装置仕様は以下の通りです。

MJC 708fTマニュアルプローバ
ウェーハチャックテーブルサイズ:φ200 mm
適用可能試料サイズ:φ75~200 mm, □10~30 mmsq.
※小片用チャックを使用することでφ0.5in~のウェーハも固定可能
※φ300 mmウェーハの場合,中央付近であれば測定可能
ステージトラベル:X, Y ±110 mm (取り出し用ストローク含まず)
サブステージトラベル:X, Y ±5 mm (マイクロメータ駆動)
Zトラベル:0, 0.3, 3.5 mm固定+3 mm
プローブ接続:リモートセンシング対応(Force, Sence独立配線)
プローブ数:3系統(近日中に4系統に増設予定)+チャックテーブル1系統
プローブ先端径:R=12.5m

KEITHLEY 4200-SCS
SMU搭載数:4200-SMU(4200-PA付き)×4
電流分解能:0.1fA~100pA
最大電流:±100mA
電圧レンジ:200mV~210V(4レンジ)

外部機器:HP4284A LCRメータ

HP4284ALCRメータを接続してあり,Probe 1, 2をスイッチユニットで切り替えて接続することができます。HP4284ALCRメータも4200-SCSに搭載されたKITEからGUIインターフェイスで制御することができます。

F-AT-138

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