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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-143
分類 リソグラフィ・露光・描画装置 > レジスト塗布・現像装置
設備名 自動塗布現像装置
(Automatic Coating / Developing System)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

ウェハサイズ:2inch、4inch オートローダー仕様
プログラム:コーターレシピ28種類 デベロップレシピ46種類
レジスト:i線用2系統(住友化学PFI-38A7、住友化学PFI-89B4)
現像液:東京応化NMD-3(TMAH2.38%)

F-AT-143

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