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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-IT-158
分類 その他 > その他
設備名 光導波路評価装置
(Optical waveguide evaluation system)
地域 関東
設置機関 東京工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

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