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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-IT-160
分類 形状・形態観察、分析 > 光学顕微鏡(一般、共焦点、レーザ)
設備名 デジタル顕微鏡
(Digital microscope)
地域 関東
設置機関 東京工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

キーエンスVHX- 7000  ハイレゾリューションヘッド : 1/1.7 型 1,222万 画素 CMOSイメージセンサ  総画素 4,168 (H) × 3,062 (V) 実効画素 4,024 (H) × 3,036 (V)

F-IT-160

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