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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NM-101
分類 形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
設備名 自動エリプソメータ
(Ellipsometer)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

メーカー名:ファイブラボ
型番:MARY-102FM
用途:絶縁膜形成評価 

装置仕様
光源:632nm He-Neレーザー
ビーム径:0.8mm
入射角:50,60,70度
試料サイズ:最大φ6インチ

F-NM-101

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