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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NM-102
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
設備名 触針式表面段差計
(Surface Profiler)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

メーカー名:KLA Tencor
型番:Alpha Step IQ
用途:接触式段差測定 

装置仕様
分解能:1.19pm (±10umレンジ)/23.8pm (400umレンジ)
走査距離:10mm
膜厚測定範囲:最大400um
試料サイズ:最大φ6インチ

F-NM-102

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