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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NM-103
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
成膜・膜堆積 > スパッタリング
設備名 イオンスパッタ
(Pt&C Coater)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

メーカー名:日立ハイテク
型番:E-1045
用途:SEM,FIB-SEMの前処理 

装置仕様
成膜材料:プラチナ/カーボン
プラチナ成膜方式:ダイオード放電マグネトロン型
カーボン成膜方式:直接通電加熱蒸着
試料サイズ:最大φ60mm

F-NM-103

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