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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NM-105
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
設備名 液体窒素プローバーシステム
(LN2 Prober)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

メーカー名:サーマルブロック,ケースレーインスツルメンツ
型番:SB-LN2PS,4200-SCS
用途:77K台から500KまでのI-V特性評価 

装置仕様
試料冷却方式:液体窒素
プローブ:SMAプローブ
マニピュレータ:4基
I-V測定端子:4ユニット
試料サイズ:最大20mm角
その他:77Kから500Kまで任意に温度設定可

F-NM-105

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