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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NM-107
分類 成膜・膜堆積 > 蒸着(抵抗加熱、電子線)
成膜・膜堆積 > 蒸着(抵抗加熱、電子線)
設備名 6連自動蒸着装置
(Automatic E-gun Evaporator)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

メーカー名:アールデック

型番:ADS-E86

用途:自動金属薄膜形成

装置仕様

蒸着方式:電子銃型

ターゲット:Ti, Cr, Al, Ni, Au, Pt

到達真空度 :10-5 Pa台

TS間距離 :500 mm

試料サイズ:最大φ8インチ

その他 :ロードロック式、水冷ステージ

F-NM-107

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