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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NM-108
分類 成膜・膜堆積 > 原子層堆積(ALD)
設備名 多機能型原子層堆積装置
(Multifunctional ALD System)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

メーカー名:サムコ

型番:AD-230LP

用途:多種ALD薄膜形成装置

仕様成膜方式:サーマルまたはプラズマALD

原料:TMA, TDMAT, BDEAS, 他

酸化剤:H2O, O3, O2プラズマ

窒化剤:N2プラズマ, NH3プラズマ

試料サイズ:最大φ8インチ

その他:ロードロック式

F-NM-108

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