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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NM-112
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
設備名 触針式プロファイラ
(Stylus Profiler)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

メーカー名:ブルカージャパン
型番:Dektak XT-A
用途:触針による表面形状計測 

装置仕様
分解能:1Å(6.5μmレンジ)
走査距離:55mm
触圧範囲:0.03-15mg
試料サイズ:最大φ8インチ

F-NM-112

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