文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NM-113
分類 形状・形態観察、分析 > 走査プローブ顕微鏡(SPM)
設備名 高速広域走査型プローブ顕微鏡
(High-speed wide-area scanning probe microscope)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

メーカー名:オックスフォード・インストゥルメンツ(株)

型番:Jupiter XR

用途:ナノ構造の計測・評価、材料の観察・特性評価、ナノレベルの粗さ・段差測定

 

装置仕様

測定モード:形状測定、メカニカル測定、電気測定、磁気測定、等
走査範囲:90μm
ステージ可動範囲:200mm角
試料サイズ:最大φ8インチ

 

F-NM-113

この設備に関連する成果事例

この設備に関連する成果事例はありません。

この設備に関するお問い合わせ先

本研究設備の詳細や利用方法等は、問い合わせフォームよりお問い合わせください。

設置機関Webサイト 設置機関Webサイト   この設備について問い合わせる この設備について問い合わせる(設置機関への問い合わせフォーム)