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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NM-097
分類 リソグラフィ・露光・描画装置 > レジスト塗布・現像装置
膜加工・エッチング > アッシング・キュア
設備名 プラズマアッシャー
(Plasma asher)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

メーカー名:ヤマト科学
型番:PB-600
用途:基板クリーニング,レジスト剥離 

装置仕様
高周波出力:0-600W連続可変
反応ガス:O2
処理時間設定:任意 (チャンバー温度150度でインターロックあり)
試料サイズ:最大φ6インチ

F-NM-097

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