文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-224
分類 リソグラフィ・露光・描画装置 > 光露光(マスクレス、直接描画)
設備名 マスクレス露光装置
(Maskless Exposure System)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

ナノシステムソリューションズ製 DL-1000

最大露光面積:200 mm x 200 mm

最小画素:1 µm(高精細露光機能付)

つなぎ合わせ精度:0.1 µm

重ね合わせ精度:±1 µm

オートフォーカス機能有

F-NU-224

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