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研究機関:広島大学
名称：広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所

クラス10のクリーンルームと電子線描画によるナノデバイス試作ラインを用いた高度な微細シリコンデバイス試作支援．10年の支援実績と多数の受賞成果．物理分野の博士研究員を再教育し半導体分野に多数輩出．