F-RO-366:ポストメタライゼーションアニール（PMA）炉 | ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内 / NanotechJapan YellowPages

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研究設備詳細情報

事業名	ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID	F-RO-366
分類	合成、熱処理、ドーピング＞熱処理、レーザーアニール
設備名	ポストメタライゼーションアニール（PMA）炉 (Post-metallization annealing furnaces)
地域	中国
設置機関	広島大学
研究分野	微細加工
担当部署または担当者
仕様	神港精機社製最高使用温度900℃　水素アニール対応wafer：２inch、cut wafer

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