文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ！　研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-225
分類 走査電子顕微鏡 ＞ 電界放出型走査電子顕微鏡
リソグラフィ・露光・描画装置 ＞ 電子線描画(EB)
設備名 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）(電子ビーム描画機能付属）
(Field Emission-Scanning Electron Microscope (6500F))
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 粟野博之 教授
仕様

日本電子FESEM JSM6500Fに東京テクノロジーのBEAM DRAWを付加した電子線描画装置。
・最小描画線幅50nm
F-TT-225

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