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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-233
分類 切削、研磨、接合 > CMP(化学機械研磨)
設備名 イオンミリング装置
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 佐々木 実 教授
仕様

日立IM-4-1
加工材料:一般的な金属
最大加工領域:3"基板
加工速度の目安:
加速電圧600V 減速電圧200V 加速電流120mA 傾斜角-30°
でアルミのエッチング速度2.4μm/h

F-TT-233

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