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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-234
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
設備名 走査型電子顕微鏡
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 小島 信晃 助教
仕様

日本電子, JSM-6510
電子線誘起電流(EBIC)計測付属、
・分解能 4.0nm、加速電圧0.5~30kV
・試料:最大φ4インチ

F-TT-234

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