F-TU-104:FE-SEM | ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内 / NanotechJapan YellowPages

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研究設備詳細情報

事業名	ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID	F-TU-104
分類	形状・形態観察、分析＞走査電子顕微鏡(SEM)
設備名	FE-SEM (FE-SEM)
地域	東北
設置機関	東北大学
研究分野	微細加工
担当部署または担当者
仕様	日立S5000、インレンズ式高分解能FESEM、小片／断面観察用

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