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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-124
分類 膜加工・エッチング > レーザー加工
設備名 ウォーターレーザ
(Water laser)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

澁谷工業 LAMICS AQL-1900、水を導波路に用いた高出力レーザ加工により、Siウェハや金属板の切断やくり抜き加工が可能、最大12インチ

F-TU-124

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