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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-129
分類 リソグラフィ・露光・描画装置 > 光露光(ステッパ)
設備名 i線ステッパ
(i-line stepper)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

キヤノン FPA-3030i5+、基板サイズ 小片~8インチ、最小線幅 0.35μm以下、重ね合せ精度 40nm、両面アライメント対応、透明基板対応、反り基板対応、Nikonレチクル対応

F-TU-129

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