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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-134
分類 切削、研磨、接合 > 接合・貼り付け・ダイボンダ
設備名 プラズマ活性化装置
(Plasma activation system)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

EVG 810、基板サイズ 小片~4インチ、低温直接接合前のウェハ表面活性化

F-TU-134

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