F-TU-079:DeepRIE装置#1 | ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内 / NanotechJapan YellowPages

ナノテクジャパンは、文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」の一環として、全国の産学官の利用者に対して、
最先端研究施設及び研究支援能力を分野横断的にかつ最適な組合せで提供できる共用システムを構築し、研究課題解決への貢献を目指して活動しております。

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文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ！　研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名	ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID	F-TU-079
分類	膜加工・エッチング＞ドライエッチング(RIE) 膜加工・エッチング＞ドライエッチング(その他)
設備名	DeepRIE装置#1 (DeepRIE #1)
地域	東北
設置機関	東北大学
研究分野	微細加工
担当部署または担当者
仕様	住友精密 MUC-21 ASE-SRE、Si深堀エッチング、最大6インチ

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