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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-UT-165
分類 形状・形態観察、分析 > 走査プローブ顕微鏡(SPM)
設備名 小型原子間力顕微鏡 
(Atomin Force Microscope (AFM))
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

SPA400+SPI4000 プローブステーション(工学部2号館電子顕微鏡室)

F-UT-165

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