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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-UT-169
分類 膜加工・エッチング > ドライエッチング(その他)
設備名 クロスセッションポリッシャー
(Cross Section Polisher)
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

IB15930CP。アルゴンプラズマにより断面出しが容易になる。

位置合わせ顕微鏡あり。

電子顕微鏡撮影用サンプル作製に最適。

F-UT-169

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