文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ！　研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-CT-039
分類 試料作製装置 ＞ 試料作製装置群
設備名 クロスセクションポリシャ
(Cross section polisher)
地域 北海道
設置機関 千歳科学技術大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 山﨑　郁乃
仕様

本装置はブロードなAr+イオンビームと遮蔽(しゃへい)板を用いて試料 の断面を加工する新しい発想の断面試料作製装置です。これまで経験を必要とした他の手法に比べ、個人差が無く質の良い断面を短時間で得る事ができます。

イオン加速電圧：2～6kV
イオンビーム径：500μm
ミリングスピード：100μm/h
最大搭載試料サイズ：11mm(幅)×10mm(長さ)×2mm(厚さ)
使用ガス：アルゴンガス
S-CT-039

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