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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-MS-094
分類 走査電子顕微鏡 > 低真空走査電子顕微鏡
形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
設備名 低真空分析走査電子顕微鏡
(Low vacuum Analytical Scanning Electron Microscopy)
地域 中部
設置機関 分子科学研究所
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 横山利彦 機器センター長
松尾友紀子 特任専門員
酒井雅弘 技術職員
石山修 特任研究員
仕様

  日立ハイテクノロジーズ SU6600

・ショットキー形電子銃
・空間分解能1.2nm(30kV)、3.0nm(1kV)
・試料150mm まで
・低真空機能(10~300Pa)
・EDS(EDX) BrukerAXS FQ5060/XFlash6

加速電圧0.5~30kV で、二次電子像、反射電子像、明視野透過電子像を観察します。
10Pa~300Pa の低真空観察に対応します。
EDS(EDX)による元素分析や元素マッピングが可能です。

S-MS-094

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