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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-NM-067
分類 表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
設備名 卓上SEM TM-4000
(Tabletop SEM TM-4000)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 ナノテクノロジー融合ステーション ナノバイオG
仕様

日立ハイテクノロジーズ製 TM4000PlusII

 

・倍率     ×10~×100,000(写真倍率)

・加速電圧           5 kV、10 kV、15 kV、20 kV

・画像信号           反射電子、二次電子、合成(反射電子+二次電子)

・真空モード       導電体(反射電子のみ)、標準、帯電軽減

・試料可動範囲    X:40 mm Y:35 mm

・最大試料サイズ 80 mm(径) 50 mm(厚さ)

・電子銃             プリセンタードカートリッジフィラメント

・検出器             反射電子:高感度4分割 反射電子検出器

        二次電子:高感度低真空 二次電子検出器

S-NM-067

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