文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-OS-144
分類 表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
表面分析装置 > エネルギー分散型蛍光X線分光(EDS)
設備名 走査型電子顕微鏡
(Scanning Electron Microscope (SEM) )
地域 近畿
設置機関 大阪大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 山崎 昌信
仕様

本体部
株式会社日立ハイテクノロジーズSU9000

EDX部
アメテック株式会社
TEAN

【特徴】
インレンズ型の高性能SEMで、EDX付、STEM測定が可能な装置です。
【仕様】
試料サイズ(最大):5×10×2 mm(試料高さにより加速電圧に制限有り)磁性体、粉末試料は測定不可
加速電圧:0.5~30kV(0.1kV刻み)
二次電子像分解能:0.4nm(加速電圧30kV)、1.2nm(加速電圧1kV)
STEM分解能:0.34nm(加速電圧30kV)
分解能:SEM0.5nm, STEM0.35nm
解析可能元素:Be~U
電子銃:コールドFE電子銃
S-OS-144 S-OS-144

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