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走査型ヘリウムイオン顕微鏡 物質・材料研究機構 微細構造解析 カールツァイス社製ORION Plus原子スケールイオン源、回折効果の極小化等により、世界で初めてサブナノメートルの分解能を実現した走査型イオ...
高精細集束イオンビーム装置 大阪大学 微細加工 高精細集束イオンビーム装置 ZEISS社製 ORION NanoFab 【特徴】イオン源にHeガスを採用したことにより、最小ビーム径0.5nmφの分解能を有する超高精細...