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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
デュアルビームFIB-SEM加工装置(FEI Quanta 200 3D) 九州大学 微細構造解析 加速電圧(SEM):30kV試料ピックアップ:Omniprobe液体窒素:試料冷却ステージ  有...
直交型FIB-SEM 九州大学 微細構造解析 Gaイオンビームによるナノメートル単位でのスライス加工と走査電子顕微鏡による高分解能観察を交互に連続して行うことが可能。SEM鏡筒とFIB鏡筒が...