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大分類試料作製装置  → 大分類一覧を表示
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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
FIB-SEMデュアルビーム加工観察装置 東京工業大学 微細加工 JEOL製 JIB-4501  FIB部分  Ga 液体金属イオン源、加速電圧  1-30kV,ビーム電流最大60nA以上  SEM部分  加速電圧0.3-...