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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS)PHI 5000 VersaProbe(ULVAC-PHI) 東京大学 微細構造解析 PHI 5000 VersaProbe(アルバックファイ) □ 主な特長 走査型マイクロフォーカスX線源による微小領域分析(最小分析領域10μm) SXI(Scanning&nb...