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大分類リソグラフィ・露光・描画装置  → 大分類一覧を表示
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研究機関北九州産業学術推進機構
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2件中、1件目~2件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
リソグラフィ装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 17.マスクアライナ【ミカサ:MA-10】紫外線によるパターン転写露光:コンタクト式露光対応試料:~4”φ対応マスク乾板:2.5”□,5”□...
リソグラフィ装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 18.両面マスクアライナ【SUSS MicroTec AG:SUSS NA6/BA6(MO)】手動方式両面アライメント露光処理枚数:1枚 コンタクト/プロキシミティ対応対応マスクサ...