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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
i線ステッパ 東北大学 微細加工 キヤノン FPA-3030i5+、基板サイズ 小片~8インチ、最小線幅 0.35μm以下、重ね合せ精度 40nm、両面アライメント対応、透明基板対応、反り基板対応、Nik...