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大分類リソグラフィ・露光・描画装置 
中分類光露光(マスクレス、直接描画) 
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研究機関広島大学
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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
マスクレス露光装置 広島大学 微細加工 ナノシステムソリュ-ションズ社製/DL-1000DMDを用いたレーザー露光装置最小画素:1μm...