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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
マスクレス露光装置(DL-1000/IMC)段差計付き 分子科学研究所 分子・物質合成 ナノシステムソリューションズ DL-1000/IMC  ・段差計(KLA Tencor  P7)  ・精密温度調整機能付クリーンブース  ・マスクアライ...