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大分類リソグラフィ・露光・描画装置  → 大分類一覧を表示
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5件中、1件目~5件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
超高精度電子ビーム描画装置 北海道大学 微細加工 エリオニクス社製:ELS-F125    加速電圧:125kV    試料サイズ:最大6インチ...
超高精度電子ビーム描画装置 北海道大学 微細加工 エリオニクス社製:ELS-7000HM    加速電圧:100kV    試料サイズ:最大6インチ...
電子ビーム描画装置 北海道大学 微細加工 エリオニクス社製:ELS-3700    加速電圧:30kV  LaB6    試料サイズ:最大4インチ    円弧スキャン可...
電子ビーム描画装置 北海道大学 微細加工 エリオニクス社製:ELS-7300    加速電圧:30kV  ZrO/W    試料サイズ:最大5インチ    円弧スキャン可...
超高速スキャン電子線描画装置 北海道大学 微細加工 エリオニクス製:ELS-F130HM    加速電圧:130kV    試料サイズ:最大8インチ   曲面描画機能有り...