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研究機関東京工業大学
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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン等を含む) 東京工業大学 微細加工 JEOL JBX-6300SJスポットビーム、ベクタースキャン方式。ビーム径3nm以下(100kV)、最少線幅8nm以下。重ね合わせ精度3nm以下。試料最大150㎜φウエ...