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ナノテクジャパンは、文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」の一環として、全国の産学官の利用者に対して、
最先端研究施設及び研究支援能力を分野横断的にかつ最適な組合せで提供できる共用システムを構築し、研究課題解決への貢献を目指して活動しております。
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文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ！ 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます．
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1件中、1件目～1件目を表示しています。
| 写真 | 設備名称 | 設置機関 | 研究分野 | 仕様 |
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電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン等を含む） | 東京工業大学 | 微細加工 | JEOL JBX-6300SJスポットビーム、ベクタースキャン方式。ビーム径3nm以下（100kV）、最少線幅8nm以下。重ね合わせ精度3nm以下。試料最大150㎜φウエ... |
