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大分類リソグラフィ・露光・描画装置  → 大分類一覧を表示
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研究機関豊田工業大学
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2件中、1件目~2件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
電子ビーム描画装置 豊田工業大学 微細加工 クレステックCABL-8200TFE・Si、ガラス等各種基板...
電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)(電子ビーム描画機能付属) 豊田工業大学 微細加工 日本電子FESEM JSM6500Fに東京テクノロジーのBEAM DRAWを付加した電子線描画装置。・最小描画線幅50nm...